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名稱
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代工費用
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自行操作費用
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負責人
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分機
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光罩設計製作
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請先洽談製程流程，方可設計製作。
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林寶德
張營煌
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34027
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氧化爐管
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18元/Min+1,500元耗材清洗費
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請洽奈微中心
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林秀芬
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34009
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磷擴散爐管
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25元/Min+1,500元耗材清洗費
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請洽奈微中心
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林秀芬
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34009
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硼擴散爐管
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30元/Min+1,500元耗材清洗費
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請洽奈微中心
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林秀芬
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34009
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退火爐管
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15元/Min+1,500元耗材清洗費
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請洽奈微中心
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林秀芬
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34009
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Alloy爐管
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10元/Min+1,500元耗材清洗費
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請洽奈微中心
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林秀芬
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34009
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E-GUN
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1,500元/run耗材費(1run
= 12片)再加
Al
400 元/KÅ
In 150
元/KÅ
Ti 400
元/KÅ
Cr 250
元/KÅ
Au 4,000
元/KÅ
Pt 5,000
元/KÅ
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請洽奈微中心
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劉仲達
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34027
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DC-Sputter
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學術界：3,000元/run耗材費(1run
= 9片)再加5元/min.
產業界：4,500元/run耗材費(1run
= 9片)再加10元/min.
再加：
W
600 元/KÅ
Cr
250元/KÅ
Ti 600
元/KÅ
Pt 4,000
元/KÅ
Cu 200
元/KÅ
Ag 2,000
元/KÅ
Ni 600
元/KÅ
Al 400
元/KÅ
Au
3,000
元/KÅ
Ta
200 元/KÅ
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請洽奈微中心
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劉仲達
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34027
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RF-Sputter
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每一個RUN以8片計，每RUN酌收1500元耗材基本費用。
鍍材 費用
Cr
300元/KÅ
Ti
600 元/KÅ
Cu
300 元/KÅ
Ni
600 元/KÅ
W
600 元/KÅ，超過2000Å，加收2100元/RUN
Al
400 元/KÅ
Ta
200 元/KÅ
ITO
800 元/KÅ
WO3 600元/KÅ
+ 2100元
自備靶材
200元/KÅ
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不開放
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張營煌
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34027
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黃光製程
(Karl Suss對準機)
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一道mask：
500元/片+1,500元耗材費(5片/run)
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請洽奈微中心
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林秀芬
林寶德
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34009
34027
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背面對準機
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一道mask：
500元/片+1,500元耗材費(5片/run)
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10元/min.
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林秀芬
林寶德
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34009
34027
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ABM對準機
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一道mask：
500元/片+1,500元耗材費(5片/run)
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10元/min.
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林秀芬
張營煌
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34009
34027
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陽極接合機
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(1)以每片1,000元計。
（不含清洗）
(2)如需對準每片1500元計。
（不含清洗）
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不開放
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林寶德
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34027
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光阻乾蝕刻機
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200元/片+1,000元清洗耗材費
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不開放
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林秀芬
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34009
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RIE
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1,500元/hr+1,000元清洗耗材費
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不開放
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林秀芬
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34009
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ICP
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請洽奈微中心
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標準清洗(H2SO4、HF)
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1,200元/run
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請洽奈微中心
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劉仲達
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34027
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濕蝕刻(SiO2,
Al, Si3N4)
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1,500元/run
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請洽奈微中心
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KOH蝕刻槽
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1,500元/hr
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請洽奈微中心
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TMAH蝕刻槽
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900元/hr
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請洽奈微中心
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nanospec
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100元/點+500元開機費
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請洽奈微中心
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林秀芬
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34009
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表面輪廓儀
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10元/min+500元開機費
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不開放
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