※以下收費為參考計價,若製程經評估有其困難性、特殊性、特殊尺寸(非四吋)或使用基材易破、非常昂貴等特性,
則須另外報價收費。

名稱

代工費用

負責人

分機

光罩設計製作

請先洽談製程流程,方可設計製作。  

精度5±0.5um(含基本畫圖、對圖、全套製程諮詢建議)
5吋
玻璃光罩:13500元
7吋玻璃光罩:23000元
9吋玻璃光罩:38500元

精度3±0.25um(含基本畫圖、對圖、全套製程諮詢建議)
5吋
玻璃光罩:21000元
7吋玻璃光罩:30000元
9吋玻璃光罩:46000元(
精度3±0.3um)

精度2±0.25um(含基本畫圖、對圖、全套製程諮詢建議)
5吋
玻璃光罩:24000元
7吋玻璃光罩:36000元
9吋玻璃光罩:54000元(
精度2±0.3um)

張營煌

03-5722644
03-5715131-34048
yhchang@tcfst.org.tw

高溫氧化爐管

收費標準:學術單位減500元代工費。6吋及8吋製作費用與四吋相同。12吋晶圓費用為8吋晶圓製程費用的2倍計算。

委託代工:
    Run 25片。含標準清洗(4吋含清洗費,其它尺寸清洗費另計),標準清洗25片一RUN


濕氧製程:
加熱
DI水水蒸氣式,非氫氧點火式,25片一RUN
5000A          5000
1.0um           9000
1.2um           13000
1.5um           17000
1.7um           19000
2.0um           :22000元

1100℃乾氧製程:
通純氧,25片一RUN。


1000A 5000
2000A 9000

張營煌

03-5722644
03-5715131-34048

yhchang@tcfst.org.tw

磷擴散爐管

●收費標準:學術單位減500元代工費。

委託代工:
    每Run 25片。含標準清洗(四吋含清洗費,其它尺寸清洗費另計),標準清洗25片一RUN。

開機費2500元。

磷擴散時間1000元/小時

 

劉仲達

03-5722644
03-5715131-34048

jdliou@tcfst.org.tw

硼擴散爐管

尚未開放

退火爐管

●收費標準:學術單位減500元代工費。

委託代工:
    

每Run 25片。

開機費1500元。退火時間
1000元/小時

 

劉仲達

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03-5715131-34048

jdliou@tcfst.org.tw

Alloy爐管

●收費標準:學術單位減500元代工費。

委託代工:
    

每Run 25片。

開機費1500元。退火時間
1000元/小時

 

劉仲達

03-5722644
03-5715131-34048

jdliou@tcfst.org.tw

AST PECVD

SAMCO PECVD

劉仲達

03-5722644
03-5715131-34048

jdliou@tcfst.org.tw

E-GUN

劉仲達

03-5722644
03-5715131-34048

jdliou@tcfst.org.tw

DC-Sputter

劉仲達

03-5722644
03-5715131-34048

jdliou@tcfst.org.tw

RF-Sputter(雙GUN

每一個RUN8片計,學術單位每RUN酌收2000元(雙層膜2500元,合金3000元)耗材基本費用。非學術單位開機費再加收500元。
   
鍍材           費用
    Cr              300
/KÅ
    Ti               600
/KÅ
    Cu              300
/KÅ
   CuO            1200
/KÅ
    Ni               600
/KÅ
 
   NiO            2200
/KÅ
    W               600
/KÅ,超過2000Å,加收2100/RUN
    Al               400
/KÅ
    Ta               1000
/KÅ
    Nb              600
/KÅ
    Mo             800
/KÅ
    Hf               1000
/KÅ
    In              
1000
/KÅ
    Zn               600
/KÅ
    Ag              1000
/KÅ
    Au              500
/100Å
    Pt                500
/100Å
    ITO             1000
/KÅ 1000Å55Ω/□,電阻係數5.5*10-4Ωcm
                       
熱處理 450   60m n.35 Ω/□3.5*10-4Ωcm
                        2000
/RUN

   IGZO           1200 /KÅ
   AZO            1000
/KÅAZO 1000A 片電阻約400Ω/□,電阻係數
                       
4*10-3 Ωcm,需經 500 退火,2000/RUN
    WO3           1200
/KÅ (300W)
    WO3           1800
/KÅ (50W)
    Si3N4          1600
/KÅ 
    SiO2            1400
/KÅ 
    a-Si              1200
/KÅ 
    n+ a-Si         1400
/KÅ,參質為Sb1000Å : 900Ω/□
   Nb2O5         1200
/KÅ
    Ta2O5          1200
/KÅ
    TaN              2200
/KÅ
    TiO2             500
/100Å
    TiN               2200
/KÅ
    Al2O3          3000
/KÅ
    HfO2             2000
/KÅ

    AgO             2000/KÅ

    AlN              1400 /KÅ
   
自備靶材       鍍率超過70Å/min, 200 /KÅ

                        70Å-50Å/min, 400 /KÅ

                        49Å-40Å/min, 800 /KÅ

                        39Å-30Å/min, 1400 /KÅ

                        29Å-20Å/min, 1800 /KÅ

                        19Å-10Å/min, 2200 /KÅ

                        10Å-5Å/min, 3000 /KÅ

                        4Å-1Å/min, 500 /100Å

張營煌

03-5722644
03-5715131-34048
yhchang@tcfst.org.tw

ABM雙面對準機

        4吋一道mask2um以上光阻每片多加500元,雙面對準為以下價格每片多500元。

        學術單位:700/+1,500元耗材費(5/run)

        非學術單位:1000/+1,500元耗材費(5/run)  


        6
吋一道mask

       學術單位:

                     光阻厚度2um以下,1000/+1,500元耗材費(5/run)  

                     光阻厚度2um以上,1500/+1,500元耗材費(5/run)

       非學術單位:

                     光阻厚度2um以下,1500/+1,500元耗材費(5/run)  

                     光阻厚度2um以上,2000/+1,500元耗材費(5/run)  

 

       8吋一道mask

       學術單位:

                     光阻厚度2um以下,3500/+1,500元耗材費(5/run)  

                     光阻厚度2um以上,4000/+1,500元耗材費(5/run)

       非學術單位:

                     光阻厚度2um以下,4000/+1,500元耗材費(5/run)  

                     光阻厚度2um以上,4500/+1,500元耗材費(5/run)  

彭毅明

03-5722644
03-5715131-34048
impeng@tcfst.org.tw

陽極接合機

(1)以每片1,500元計。
(不含清洗)

(2)如需對準每片2000元計。

(不含清洗)

彭毅明

03-5722644
03-5715131-34
027

impeng@tcfst.org.tw

光阻乾蝕刻機

學術單位:500/+1,500元開機費

非學術單位:500/+2,000元開機費

劉仲達

03-5722644
03-5715131-34048

jdliou@tcfst.org.tw

RIE

學術單位:1,500/hr+1,500元開機費

非學術單位:1,500/hr+2,000元開機費

劉仲達

03-5722644
03-5715131-34048

jdliou@tcfst.org.tw

ICP

 

 

 

標準清洗(H2SO4HF)

●收費標準:四吋圓形基板計費,若是其它尺寸則另外評估收費。

1.委託代工:以每一Run 25片計算。未滿一個Run,以一Run計,每一Run 1,200元。

2.LN晶圓未滿六片 (含)1RUN 1200元,超過六片則以200元/片計費。

劉仲達

03-5722644
03-5715131-34048

jdliou@tcfst.org.tw

濕蝕刻(SiO2, Al, Si3N4)

1,500/run,其它特殊蝕刻煩請來電洽詢。

KOH蝕刻槽

1,500/hr + 1500元材料費,其它特殊蝕刻煩請來電洽詢。

TMAH蝕刻槽

1,500/hr + 1500元材料費,其它特殊蝕刻煩請來電洽詢。

nanospec

100/+500元開機費

劉仲達

03-5722644
03-5715131-34048

jdliou@tcfst.org.tw

表面輪廓儀

學術單位:20/min+2500元開機費

非學術單位:20/min+3000元開機費

張營煌

03-5722644
03-5715131-34048
yhchang@tcfst.org.tw

橢圓儀

學術單位:20/min+500元開機費

非學術單位:20/min+700元開機費

張營煌

03-5722644
03-5715131-34048
yhchang@tcfst.org.tw

四點探針

學術單位:50/+200元開機費

非學術單位:50/+400元開機費

張營煌

03-5722644
03-5715131-34048
yhchang@tcfst.org.tw

光學顯微鏡

500/hr

彭毅明

03-5722644
03-5715131-340
48

impeng@tcfst.org.tw

晶圓切割機

學術單位:每片400元,切割一片時間若超過20分鐘則另計。. 
非學術單位:每片600元,切割一片時間若超過20分鐘則另計。

劉仲達

03-5722644
03-5715131-34048

jdliou@tcfst.org.tw

雷射微加工機

學術單位:每片900元,切割一片時間若超過20分鐘則另計。. 
非學術單位:每片1000元,切割一片時間若超過20分鐘則另計。 

張營煌

劉仲達

03-5722644
03-5715131-34048
jdliou@tcfst.org.tw

彭毅明

03-5722644
03-5715131-340
48

impeng@tcfst.org.tw

 穿透率量測

學術單位:100元/+300元開機費
非學術單位:100元/+800元開機費

張營煌

03-5722644
03-5715131-34048
yhchang@tcfst.org.tw