薄膜測量儀(Nanoscope)

廠 牌：Nanometrics Nanospec/AFT
●服務項目：厚度及反射率量測。
Measured Film Range(Å)：
1.SiO2 on Si 100Å∼ 40,000Å
2.Si3N4 on Si 100Å∼ 10,000Å
3.Negative Resist on Si 500Å∼ 40,000Å
4.Poly on SiO2 500Å∼ 10,000Å
5.Negative Resist on SiO2 4000Å∼ 30,000Å
6.Si3N4 on SiO2 300Å∼ 3,500Å
7.Polyimide on Si 500Å∼ 30,000Å
8.Positive Resist on Si 500Å∼ 40,000Å
9.Positive Resist on SiO2 4000Å∼ 30,000Å
10.Reflectance 370Å∼ 800nm

11.Thick Film

 4Å∼ 200Å

●收費標準：
     1.委託代工：以每點100元計價，另加500元清潔及耗材基本費用。
     2.自行操作：每小時300元。