薄膜測量儀(Nanoscope)

廠 牌:Nanometrics Nanospec/AFT

服務項目:厚度及反射率量測。
Measured Film Range(Å)
1.SiO2 on Si 100Å 40,000Å
2.Si3N4 on Si 100Å 10,000Å
3.Negative Resist on Si 500Å 40,000Å
4.Poly on SiO2 500Å 10,000Å
5.Negative Resist on SiO2 4000Å 30,000Å
6.Si3N4 on SiO2 300Å 3,500Å
7.Polyimide on Si 500Å 30,000Å
8.Positive Resist on Si 500Å 40,000Å
9.Positive Resist on SiO2 4000Å 30,000Å
10.Reflectance 370Å 800nm

11.Thick Film

200Å

收費標準:
    1.委託代工:以每點100元計價,另加500元清潔及耗材基本費用。
    2.自行操作:每小時300元。

●負責人:劉先生,電話:03-5722644、03-5715131-34048