設備儀器名稱負責人及連絡分機

清華總機 :(03) 5715131

 

設備儀器名稱

狀 況

負責人

連絡 分機

開放等級

PVD設備

電子鎗真空蒸鍍系統 (E-Gun System)

正常

劉仲達

34048

直流式真空濺鍍系統DC Sputter System

正常

劉仲達

34048

射頻式真空濺鍍系統(RF Sputter System) 正常 張營煌 34048

Remark: * 開放清華研究生操作使用。

半導體研究室專線: 03 - 5722644 or   5733477

半導體研究室傳真:  03 - 5720809