設備儀器名稱負責人及連絡分機

清華總機 :(03) 5715131

 

設備儀器名稱

狀況

負責人

連絡 分機

開放等級

高溫爐管

氧化/擴散系統(Oxidation/Diffusion System)

Thermal Oxide

正常

劉仲達

34048

POCl3 Doping & N Anneal

正常

劉仲達

34048

Boron Doping & P Anneal

Al Alloy

正常

劉仲達

34048

Remark: * 開放清華研究生操作使用。

半導體研究室專線: 03 - 5722644 or   5733477

半導體研究室傳真:  03 - 5720809