標準清洗
H2SO4
HF 10:1
DI Water Rinse
收費標準:四吋圓形基板計費,若是其它尺寸則另外評估收費。

1.委託代工:以每一Run 25片計算。未滿一個Run,以一Run計,每一Run 1,200元。

2.LN晶圓未滿六片 (含)1RUN 1200元,超過六片則以200/片計費。
關鍵字:硫酸清洗、SPM、過氧化氫、去離子水(DI WATER)、氫氟酸、RCA Clean、HCl、NH4OH、氧化矽蝕刻、含硼磷氧化矽蝕刻