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電漿光阻去除系統(Plasma Stripper System)
廠 牌：Integrated
Plasma Limited
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●廠 牌：Integrated
Plasma Limited
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1.Power：RF 0∼600W, 13.56MHz |
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2.Gas：Oxygen |
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3.Process Pressure：∼
0.2 Torr |
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●服務項目：Resist
Stripping for wafer ≦ 6"
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●收費標準：
學術單位：500元/片+1,500元開機費
非學術單位：500元/片+2,000元開機費
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| 關鍵字：光阻乾蝕刻、有機物乾蝕刻 |
