電漿光阻去除系統(Plasma Stripper System)

廠 牌:Integrated Plasma Limited

 

●廠 牌:Integrated Plasma Limited

●主要規格:
   1.PowerRF 0600W, 13.56MHz
   2.GasOxygen
   3.Process Pressure:∼ 0.2 Torr

●服務項目:Resist Stripping for wafer ≦ 6"

●收費標準:

學術單位:
500/+1,500元開機費
非學術單位:500/+2,000元開機費

●負責人:劉先生,電話:03-5722644、03-5715131-34048
關鍵字:光阻乾蝕刻、有機物乾蝕刻