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●廠牌:
Disco 2H/6T
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●服務項目:
四吋、六吋矽晶圓、玻璃、磷酸鋰切割
●注意事項:
(1).可切矽晶圓、PYREX玻璃片、磷酸鋰、氧化鋁(Al2O3)、碳化矽(SiC)、矽-矽接合晶圓、矽-玻璃接合晶圓。
(2).切割軌道寬度:
切矽晶圓:80um
切玻璃:180um
切矽-矽接合晶圓:130um
切玻璃-矽晶圓接合:180um
(3).可選擇不切穿。
(4).提供晶圓貼片機及烤箱。
●收費標準:
學術單位:每片400元,切割一片時間若超過20分鐘則另計。
非學術單位:每片600元,切割一片時間若超過20分鐘則另計。
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關鍵字:晶圓,玻璃,磷酸鋰,氧化鋁,碳化矽切割機
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