1.無塵室規劃。

2.四吋CVD設備設計製作。

3.元件製作／某項單一或特別製程代工。

4.半導體製程、微機電製程代工。

5.無塵室(clean room)微塵測量，溫濕度控制檢驗

  等，半導體廠房或高潔淨度環境測試。
6.儀器設備外借。

7.光罩Layout。

詳細資料請見工業服務手冊

如需表單請見工業服務作業手冊表單附件

 如需代工服務，請親洽半導體光電研究室 電話：03-5733477 or 03-5735521-500
 或e-mail: tkchen@tcfst.org.tw