1.無塵室規劃。
2.四吋CVD設備設計製作。
3.元件製作/某項單一或特別製程代工。
4.半導體製程、微機電製程代工。
5.無塵室(clean room)微塵測量,溫濕度控制檢驗
等,半導體廠房或高潔淨度環境測試。 6.儀器設備外借。
7.光罩Layout。
詳細資料請見工業服務手冊
如需表單請見工業服務作業手冊表單附件
如需代工服務,請親洽半導體光電研究室 電話:03-5733477 or 03-5735521-500 或e-mail: tkchen@tcfst.org.tw