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Stage
size
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210*210mm
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Titling
rang
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150*150mm
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Force
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0.05-50mg
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Tip
radius
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R角：1
um(30°),
2.0um（60°）
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Vertical
range
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±180
um
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可量測最小深度及高度
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±50
Å
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Sample
thickness
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52mm
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掃瞄範圍
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100*150mm
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X軸真直度
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0.005um/5mm,
0.1um/100mm
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Y軸真直度
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5um/100mm
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camera
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1/2inch
CCD(768*494)
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放大倍率
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140倍（固定）
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Vertical
resolution垂直解析度
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1
Å
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縱軸解析度Y
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最高1
um
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橫軸解析度X
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最高0.01um，不能定位座標
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repeatability
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0.5nm
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※最大可量測之深度或高度為180
um，請勿超過，否則探針將會折斷。
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