表面輪廓儀

廠 牌:Kosaka ET4000a

代理商:三朋儀器股份有限公司

●主要規格:

Stage size

210*210mm

Titling rang

150*150mm

Force

0.05-50mg

Tip radius

R角:1 um(30°), 2.0um(60°)

Vertical range

±180 um

可量測最小深度及高度

±50 Å

Sample thickness

52mm

掃瞄範圍

100*150mm

X軸真直度

0.005um/5mm, 0.1um/100mm

Y軸真直度

5um/100mm

camera

1/2inch CCD(768*494)

放大倍率

140倍(固定)

Vertical resolution垂直解析度

1 Å

縱軸解析度Y

最高1 um

橫軸解析度X

最高0.01um,不能定位座標

repeatability

0.5nm

※最大可量測之深度或高度為180 um,請勿超過,否則探針將會折斷。

●服務項目:

 量測表面的形狀,可顯示高度、深度及寬度。

●收費標準:

學術單位:20/min+2500元開機費
非學術單位:20/min+3000元開機費  

●負責人:張先生,電話:03-5722644、03-5715131-34048