名稱

代工費用

負責人

分機

光罩設計製作

含製圖、對圖及製程諮詢。
5吋玻璃光罩
精度:5+-0.5um:13500
精度:3+-0.25um:21000
精度:2+-0.25um:24000
精度:1+-0.15um:41000
精度:1+-0.1um:63000
精度:0.8+-0.08um:70000

7吋玻璃光罩
精度:5+-0.5um:23000
精度:3+-0.25um:31000
精度:2+-0.25um:37000
精度:1+-0.15um:56000
精度:1+-0.1um:91000
精度:0.8+-0.08um:98000

9吋玻璃光罩
精度:5+-0.5um:38500
精度:3+-0.3um:46000
精度:2+-0.3um:55000
精度:1+-0.15um:76000

yhchang@tcfst.org.tw

氧化爐管

●收費標準：學術單位減500元代工費。

委託代工：
    每Run 25片。含標準清洗（四吋含清洗費，其它尺寸清洗費另計），標準清洗25片一RUN。

濕氧製程：
水蒸氣式，非氫氧點火式，25片一RUN。

5000A          ：5000元
1.0um           ：9000元
1.2um           ：13000元
1.5um           ：17000元
1.7um           ：19000元
2.0um           ：22000元

1100℃乾氧製程：
通純氧，25片一RUN。

1000A ：5000元
2000A ：9000元

yhchang@tcfst.org.tw

磷擴散爐管

●收費標準：學術單位減500元代工費。

委託代工：
    每Run 25片。含標準清洗（四吋含清洗費，其它尺寸清洗費另計），標準清洗25片一RUN。

開機費2500元。

磷擴散時間1000元/小時

劉先生

03-5722644

硼擴散爐管

尚未開放

退火爐管

尚未開放

Alloy爐管

尚未開放

RF-Sputter（雙GUN）

每一個RUN以8片計，學術單位每RUN酌收2000元（雙層膜2500元，合金3000元）耗材基本費用。非學術單位開機費再加收500元。
    鍍材           費用
    Cr              300 元/KÅ
    Ti               600 元/KÅ
    Cu              300 元/KÅ
   CuO            1200元/KÅ
    Ni               600 元/KÅ
     NiO            2200元/KÅ
    W               600 元/KÅ，超過2000Å，加收2100元/RUN
    Al               400 元/KÅ
    Ta               1000 元/KÅ
    Nb              600 元/KÅ
    Mo             800 元/KÅ
    Hf               1000元/KÅ
    In               5000元/KÅ
    Zn               600元/KÅ
    Ag              1000 元/KÅ
    Au              500 元/100Å
    Pt                600 元/100Å
    ITO             1000 元/KÅ 1000Å：55Ω/□，電阻係數5.5*10^-4Ω•cm

   IGZO           1200 元/KÅ
   AZO            1000元/KÅ
    WO3           1200 元/KÅ (300W)
    WO3           1800元/KÅ (50W)
    Si3N4          1600 元/KÅ 
    SiO2            1400 元/KÅ 
    a-Si              1200 元/KÅ 
   Nb2O5         2200元/KÅ  8-12" 3000元/KA
    Ta2O5          1200元/KÅ
    TaN              2200元/KÅ
    TiO2             500 元/100Å
    TiN               2200元/KÅ
    Al2O3          3000 元/KÅ
    HfO2             2000元/KÅ

    AgO             2000元/KÅ

    AlN              1400 元/KÅ
   自備靶材       鍍率超過70Å/min, 200 元/KÅ

                        70Å-50Å/min, 400 元/KÅ

                        49Å-40Å/min, 800 元/KÅ

                        39Å-30Å/min, 1400 元/KÅ

                        29Å-20Å/min, 1800 元/KÅ

                        19Å-10Å/min, 2200 元/KÅ

                        10Å-5Å/min, 3000 元/KÅ

                        4Å-1Å/min, 500 元/100Å

yhchang@tcfst.org.tw

ABM對準機

    學術單位：

                     光阻厚度2um以下，1000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，1500元/片+1,500元耗材費(5片/run)

    非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，1500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，2000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

6吋一道mask：

    學術單位：

                     光阻厚度2um以下，1500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，2000元/片+1,500元耗材費(5片/run)

    非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，2000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，2500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

8吋一道mask：

    學術單位：

                     光阻厚度2um以下，4000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，4500元/片+1,500元耗材費(5片/run)

    非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，4500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，5000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

(2)背面對準:

       學術單位：

                     光阻厚度2um以下，2000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，2500元/片+1,500元耗材費(5片/run)

       非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，2500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，3000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

6吋一道mask：

       學術單位：

                     光阻厚度2um以下，2500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，3000元/片+1,500元耗材費(5片/run)

       非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，3000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，3500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

8吋一道mask：

       學術單位：

                     光阻厚度2um以下，5000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，5500元/片+1,500元耗材費(5片/run)

       非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，5500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，6000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

負光阻另外報價

選擇性製程收費如下(正光阻)

4吋基板光阻塗佈+烘烤:500元/片

6吋基板光阻塗佈+烘烤:700元/片

8吋基板光阻塗佈+烘烤:1000元/片

負光阻另外報價

彭先生

03-5722644

陽極接合機

(1)以每片1,500元計。
（不含清洗）

(2)如需對準每片2000元計。

（不含清洗）

彭先生

03-5722644

光阻乾蝕刻機

學術單位：500元/片+1,500元開機費

非學術單位：500元/片+2,000元開機費

劉先生

03-5722644

RIE

學術單位：1,500元/hr+1,500元開機費

非學術單位：1,500元/hr+2,000元開機費

劉先生

03-5722644

標準清洗(H2SO4、HF)

1,200元/run

劉先生

03-5722644

濕蝕刻(SiO2, Al, Si3N4)

1,500元/run，其它特殊蝕刻煩請來電洽詢。

KOH蝕刻槽

1,500元/hr + 1000元材料費，其它特殊蝕刻煩請來電洽詢。

nanospec

100元/點+500元開機費

劉先生

03-5722644

表面輪廓儀

學術單位：20元/min+2500元開機費

非學術單位：20元/min+3000元開機費

橢圓儀

學術單位：20元/min+2500元開機費

非學術單位：20元/min+3000元開機費

四點探針

學術單位：50元/點+200元開機費

非學術單位：50元/點+400元開機費

光學顯微鏡

100元/點

彭先生

03-5722644

超音波鋁線銲線機

學術單位：10元/min.+3500元開機費

非學術單位：20元/min.+4000元開機費

晶圓切割機

學術單位：每片400元，切割一片時間若超過20分鐘則另計。. 
非學術單位：每片600元，切割一片時間若超過20分鐘則另計。

劉先生

03-5722644

學術單位：每片900元，切割一片時間若超過30分鐘則另計。. 
非學術單位：每片1000元，切割一片時間若超過30分鐘則另計。 

劉先生

03-5722644

 穿透率量測

學術單位：100元/點+2500元開機費
非學術單位：100元/點+3000元開機費