設備儀器名稱負責人及連絡分機

清華總機 :(03) 5715131

 

設備儀器名稱

狀 況

負責人

連絡 分機

開放等級

濕蝕刻

標準清洗

正常

劉仲達

34048

濕蝕刻

正常

劉仲達

34048

KOH深蝕刻(KOH Deep Etch)

正常

劉仲達

34048

THAH深蝕刻(TMAH Deep Etch)

正常

劉仲達

34048

Remark: * 開放清華研究生操作使用。

半導體研究室專線: 03 - 5722644 or   5733477

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