設備儀器名稱負責人及連絡分機 清華總機 :(03) 5715131
設備儀器名稱負責人及連絡分機
清華總機 :(03) 5715131
分 類
設備儀器名稱
狀 況
負責人
開放等級
乾蝕刻
正常
劉仲達
34048
Remark: * 開放清華研究生操作使用。
半導體研究室專線: 03 - 5722644 or 5733477
半導體研究室傳真: 03 - 5720809