設備儀器名稱負責人及連絡分機

清華總機 :(03) 5715131

分  類

設備儀器名稱

狀 況

負責人

連絡 分機

開放等級
黃光區
ABM Mask Aligner System (ABM)

正常

黃一倉

34009

*
陽極接合機 (Wafer Bonding System)

正常

黃一倉

34009

電漿光阻去除系統 (Plasma Stripper System)

正常

劉仲達

34048

*

Remark: * 開放清華研究生操作使用。

半導體研究室專線: 03 - 5722644　or   5733477

半導體研究室傳真:  03 - 5720809