設備儀器名稱負責人及連絡分機

清華總機 :(03) 5715131

 

設備儀器名稱

狀 況

負責人

連絡 分機

開放等級

量測設備

薄膜測量儀 (Nanoscope)

正常 劉仲達 34048
四點針測 (4-Point Probe) 正常 張營煌 34048
顯微鏡及照相系統 正常 劉仲達 34048
表面輪廓儀(α-STEP) 正常 張營煌 34048
橢圓儀(Ellipsmeter) 正常 張營煌 34048

Remark: * 開放清華研究生操作使用。

半導體研究室專線: 03 - 5722644 or   5733477

半導體研究室傳真:  03 - 5720809