半導體光電研究室高溫爐管

設備儀器名稱負責人及連絡分機

清華總機 :(03) 5715131

分類	設備儀器名稱		狀況	負責人	連絡分機	開放等級
高溫爐管	氧化／擴散系統(Oxidation/Diffusion System)	Thermal Oxide	正常	劉仲達	34048
		POCl₃ Doping & N Anneal	正常	劉仲達	34048
		Boron Doping & P Anneal
		Al Alloy	正常	劉仲達	34048

Remark: * 開放清華研究生操作使用。

半導體研究室專線: 03 - 5722644　or 5733477

半導體研究室傳真: 03 - 5720809