ABM光罩對準系統(ABM Mask Aligner System)

廠商：
AB-M, Inc.

代理商：
昇美達國際開發有限公司
●主 要 規 格：
    1.Contact printing
    2.Wave length 365nm,400nm
    3.Mask holder 4"×4", 5"×5", 7"×7",9"*9"
    4.Resolution 1 μm
    5.可做八吋以下晶圓或破片

●注意事項：請詳細註明光阻劑之種類及欲上光阻之厚度。

●服務項目與收費標準：(蝕刻費用另計)
1.委託代工：
(1).單面對準:

4吋一道mask： (正光阻)

    學術單位：

                     光阻厚度2um以下，1000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，1500元/片+1,500元耗材費(5片/run)

    非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，1500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，2000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  


6吋一道mask：

    學術單位：

                     光阻厚度2um以下，1500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，2000元/片+1,500元耗材費(5片/run)

    非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，2000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，2500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

8吋一道mask：

    學術單位：

                     光阻厚度2um以下，4000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，4500元/片+1,500元耗材費(5片/run)

    非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，4500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，5000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

背面對準:

4吋一道mask： (正光阻)

       學術單位：

                     光阻厚度2um以下，2000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，2500元/片+1,500元耗材費(5片/run)

       非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，2500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，3000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  


6吋一道mask：

       學術單位：

                     光阻厚度2um以下，2500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，3000元/片+1,500元耗材費(5片/run)

       非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，3000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，3500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

8吋一道mask：

       學術單位：

                     光阻厚度2um以下，5000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，5500元/片+1,500元耗材費(5片/run)

       非學術單位：

                     光阻厚度2um以下，5500元/片+1,500元耗材費(5片/run)  

                     光阻厚度2um以上，6000元/片+1,500元耗材費(5片/run)  



負光阻另外報價

   (2).選擇性製程收費如下(正光阻)
4吋基板光阻塗佈+烘烤:500元/片
6吋基板光阻塗佈+烘烤:700元/片
8吋基板光阻塗佈+烘烤:1000元/片
負光阻另外報價
   (3).Lift OFF製程，依製程困難度報價。
2.背面對準鍵位置：

　

　

　

　

　

　

　

　

　

　

關鍵字：黃光室、單面對準機、光罩對準機、黃光製程、顯影、預烤、軟烤、硬烤、Hot Plate、烤箱