標準清洗
●
H
2
SO
4
●
HF 10:1
●
DI Water Rinse
●
收費標準：
1.
委託代工：以每一
Run 25
片計算。未滿一個
Run
，以一
Run
計，每一
Run 1,200
元。
2.
自行操作：每一次
700
元。
關鍵字：硫酸清洗、SPM、過氧化氫、去離子水（DI WATER）、氫氟酸、RCA Clean、HCl、NH4OH、氧化矽蝕刻、含硼磷氧化矽蝕刻
