背面對準機
●主要 規格：
1.Contact printing
2.Wave length 365nm,400nm
3.Mask holder 5"×5"
4.Resolution 2∼5μm
●使用限制：
   1.只能做背面對準。
   2.不能使用破片。
   3.精度：±2 um。

●服務項目與收費標準：(蝕刻費用另計)
    1.委託代工：
       (1).一道mask：厚光阻每片多加500元。

                                   5320元/2hrs，超過2hrs，每小時2660元。 

       (2).選擇性製程收費如下，每次製程另酌收1000元耗材與清洗基本費用。
             S1813 正光阻(含HMDS ) : 250元/Layer /片
             對準曝光操作 : 350元/Layer /片
             顯影 : 200元/Layer /片
            光罩清洗 : 300元/Layer /片
            晶片烘烤(含預、軟、硬烤) : 250元/Layer /片
    2.自行操作：
關鍵字：黃光室、背面、雙面對準機、光罩對準機、黃光製程、顯影、預烤、軟烤、硬烤、Hot Plate、烤箱