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電子鎗真空蒸鍍系統
(E-Gun System)
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●主要規格:
(1).Power Supply : Maximum 12KW
(2).Substrate heating : 0℃∼ 300℃
(3).Operating Pressure : < 5 × 10-6 Torr
(4).Crucibles : 7cc
1 Crucibles : 35cc
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●服務項目:Al、In、Ti、Cr、Au、Pt
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●注意事項:
(1)
請詳細註明欲鍍厚度及種類。
(2)
不接受破片。
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●收費標準:
依清大奈材中心標示價格為準
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關鍵字:金屬薄膜沈積、金屬薄膜蒸鍍、PVD
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