電子鎗真空蒸鍍系統
 (E-Gun System)

●主要規格:
   (1).Power Supply : Maximum 12KW
   (2).Substrate heating : 0℃
300℃
   (3).Operating Pressure : < 5 × 10-6 Torr
   (4).Crucibles : 7cc
         1 Crucibles : 35cc

●服務項目:AlInTiCrAuPt

●注意事項:
   請詳細註明欲鍍厚度及種類。
●收費標準:


  

關鍵字:金屬薄膜沈積、金屬薄膜蒸鍍、PVD