 直流式真空濺鍍系統
(DC
Sputter
System)
廠 牌：ULVAC
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●主要規格：
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| Wafer Size: 4 inch
silicon wafer, maximum 9 wafers per each run. |
| Power Supply: Maximum
700W |
| Operating Pressure:
<5×10-6 Torr |
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●服務項目：Cr、Ti、Pt、Ni、Cu、Ag、W、Al、Au
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●注意事項：
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1.4 inch silicon
wafer，破片亦可。 |
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●收費標準：
依清大奈材中心標示價格為準
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關鍵字：金屬薄膜沈積、PVD、Sputter
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