直流式真空濺鍍系統
(DC Sputter System)

廠 牌:ULVAC

●主要規格:

    Wafer Size: 4 inch silicon wafer, maximum 9 wafers per each run.
    Power Supply: Maximum 700W
    Operating Pressure: <5×10-6 Torr

●服務項目:CrTiPtNiCuAgWAlAu

●注意事項:

    1.4 inch silicon wafer,破片亦可。

●收費標準:


關鍵字:金屬薄膜沈積、PVD、Sputter