 半導體研究室成立於民國七十三年。半導體研究室主要任務為提供專業技術服務及實作培訓課程。另一方面，半導體研究室在未來的發展中的主要任務調整為開發各式元件。如，太陽電池、各式汽車用電子元件、壓力感測器、超低阻抗功率金氧場效電晶體、微系統相關零組件…等。
半導體研究室與清華大學電機系、動機系等相關科系具有非常密切的合作關係。我們維持VLSI/ULSI實驗室的正常運作，每年提供數百人次電機系的研究生的半導體製程與實驗，進行固態電子的研究與論文發表，促進清華大學電機系等相關科系在半導體及微機電領域的領先地位。
半導體研究室也提供全程或單一製程的半導體及微機電代工及開發服務，目前我們服務的廠商與單位包括工研院光電所、量測中心、材料所及電子所、聯友光電、鼎元科技公司、新台科技公司、台灣矽微公司與國磊科技公司
…等等。
潔淨室主體：
VLSI/ULSI實驗室為一百坪之Class
1000與Class 10000無塵室。
潔淨室週邊：
廠務系統
–超純水製程系統、各式反應氣體儲存槽、空氣洗塵器、廢氣處理系統、廢水處理系統、毒性氣體先期偵測警報系統。
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