|
|
|
 電子鎗真空蒸鍍系統
(E-Gun System)
|
●主要規格：
(1).Power Supply : Maximum 12KW
(2).Substrate heating : 0℃∼ 300℃
(3).Operating Pressure : < 5 × 10-6 Torr
(4).Crucibles : 7cc
1 Crucibles : 35cc
|
|
|
|
●服務項目：Al、In、Ti、Cr、Au、Pt
|
|
●注意事項：
(1)
請詳細註明欲鍍厚度及種類。
(2)
不接受破片。
|
|
●收費標準：
依清大奈材中心標示價格為準
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
關鍵字：金屬薄膜沈積、金屬薄膜蒸鍍、PVD
|
|
|
