標準清洗
●
H
2
SO
4
●
HF 10:1
●
DI Water Rinse
●
收費標準:
1.
委託代工:以每一
Run 25
片計算。未滿一個
Run
,以一
Run
計,每一
Run 1,200
元。
2.
自行操作:每一次
700
元。
關鍵字:硫酸清洗、SPM、過氧化氫、去離子水(DI WATER)、氫氟酸、RCA Clean、HCl、NH4OH、氧化矽蝕刻、含硼磷氧化矽蝕刻