表面輪廓儀目前暫停開放使用 .2008/2/1 下午 12:17:23 表面輪廓儀目前暫停開放使用，因為2um探針針尖崩斷。  無塵室管理權移轉 .2007/10/2 上午 09:58:33 無塵室管理權已移轉為清大奈材中心，自行操作及門禁管理事宜請洽奈材中心，謝謝。