RF-Sputter鍍金、白金降價,價格調降為:鍍金500元 / 100A , 鍍白金600元 / 100A。 RF-Sputter鍍金、白金計價方式變更,更改為:鍍金600元 / 100A , 鍍白金700元 / 100A。 本研究室即日起可代工PECVD製程,可沈積TEOS-Oxide (TMP-P + diffusion);SiON (SiH4 + N2O + NH3);SiO2 (SiH4 + N2O);Si3N4 (SiH4 + NH3) RF-Sputter可濺鍍氮化鋁(AlN)了,折射率n為2.0。 表面輪廓儀目前暫停開放使用,因為2um探針針尖崩斷。 無塵室管理權已移轉為清大奈材中心,自行操作及門禁管理事宜請洽奈材中心,謝謝。 |