RF-Sputter鍍金、白金降價 .2012/8/15 上午 11:49:36 RF-Sputter鍍金、白金降價，價格調降為：鍍金500元 / 100A , 鍍白金600元 / 100A。  RF-Sputter鍍金、白金計價方式變更 .2010/6/2 上午 10:07:35 RF-Sputter鍍金、白金計價方式變更，更改為：鍍金600元 / 100A , 鍍白金700元 / 100A。  本研究室即日起可代工PECVD製程 .2010/6/2 上午 09:59:26 本研究室即日起可代工PECVD製程，可沈積TEOS-Oxide (TMP-P + diffusion)；SiON (SiH4 + N2O + NH3)；SiO2 (SiH4 + N2O)；Si3N4 (SiH4 + NH3)  RF-Sputter可濺鍍氮化鋁（AlN）了 .2010/4/23 下午 04:08:01 RF-Sputter可濺鍍氮化鋁（AlN）了，折射率n為2.0。  表面輪廓儀目前暫停開放使用 .2008/2/1 下午 12:17:23 表面輪廓儀目前暫停開放使用，因為2um探針針尖崩斷。  無塵室管理權移轉 .2007/10/2 上午 09:58:33 無塵室管理權已移轉為清大奈材中心，自行操作及門禁管理事宜請洽奈材中心，謝謝。